Asiakaspalvelu 029 006 280 tai lomake
Palvelemme myös numerossa 029 006 280
iXH (Harsh Duty) kuivapumput tarjoavat puhdasta, luotettavaa ja käyttökustannuksiltaan edullista tyhjiötä vaativiin ja ankariin prosesseihin teollisuuden eri aloille. Energiankulutusta on saatu laskettua 10% verrattuna jo ennestään energiaystävälliseen iH- sarjan pumppuihin. Pumput täyttävät SEMI E54, UL, CE ja S2 standardit. Prosessisovelluksina mm. SACVD, LPCVD, ALD, TCO, GaN, TEOS ja EPI. Pumppaustehot 100 m3/h - 5200 m3/h.
Genius moduuli vakuumipumpun etämonitorointiin
Thermo Scientific chillerit / prosessijäähdyttimet.
Huoltopyynnöissä ota yhteyttä huoltolomakkeen kautta.